環繞式閘極

 

 

環繞式閘極 (GAA)

環柵 (GAA) 是一種克服 FinFET 架構挑戰的電晶體架構。GAA 採用 FinFET 設計並將其側轉,使通道變為水平而非垂直。GAA 不是像 FinFET 架構那樣在三個側面圍繞通道,而是在所有四個側面圍繞通道,以便更好地控制晶體管開關。GAA 電晶體的製造乃採用一組全新且極為精確的製程。這有助於實現晶體管的微縮、減少變異性,同時改善效能及功耗。

Gate-All-Around 借鑒了許多用於製造FinFET 的成熟製程。然而,有幾個關鍵的新步驟包括外延選擇性去除整合材料解決方案電子束計量

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