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전면 게이트 (GAA)
전면 게이트, 즉 GAA는 핀펫 구조의 당면 과제를 극복하는 트랜지스터 아키텍처입니다. GAA는 핀펫 설계를 옆으로 돌려 채널이 수직이 아닌 수평이 되도록 합니다. 핀펫 구조처럼 채널을 3면으로 둘러싸지 않고, 4면 모두를 둘러싸 트랜지스터 스위치를 보다 잘 제어할 수 있습니다. 매우 정밀한 새로운 공정 세트가 GAA 트랜지스터 제조에 사용됩니다. 이는 더 적은 변동성, 향상된 성능, 더 낮은 전력을 특징으로 하는 트랜지스터 미세화를 지원합니다.
전면 게이트는 핀펫 제조에 사용되는 입증된 프로세스 중 다수를 차용합니다. 하지만 에피택시, 선택적 제거, 통합 재료 솔루션 및 전자빔 계측을 포함하는 몇 가지 중요한 새로운 단계가 있습니다.