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액셔너블 인사이트 액셀러레이터(AIx™)
반도체 칩 제조에는 종종 수백에서 수천 개의 공정 단계가 연속적으로 진행되어야 합니다. 이상적인 결과를 얻기 위해 각 공정 단계에는 수백 개의 장비 매개 변수로 생성된 특정 레시피가 필요하며, 해당 레시피는 지속 시간 동안 달라질 수 있습니다. 이제 엔지니어가 선택할 수 있는 공정 변수는 수천 개가 있으며, 레시피 최적화의 핵심을 제공하는 상관관계 중에서 이해하기 어려운 것은 소수에 불과합니다.
액셔너블 인사이트 액셀러레이터, 즉 AIx™를 통해 엔지니어는 반도체 공정을 실시간으로 파악하고, 웨이퍼 및 개별 칩에 대해 수백 만 회에 걸쳐 계측하며, 수천 개의 공정 변수를 최적화하여 반도체 성능, 전력, 면적-비용 및 출시 소요 기간(PPACt™)을 개선할 수 있습니다. (AIx) 플랫폼은 어플라이드 머티어리얼즈의 모든 공정 장비, eBeam™ 계측 시스템 및 검사 시스템 전반에서 작동하며 실험실에서 팹까지 확장 가능합니다. AIx는 엔지니어에게 R&D 중 혁신적인 레시피를 이끌어낼 수 있는 능력을 제공하여 양산(HVM)으로의 전환과 달성을 가속화합니다. 오늘날, AIx는 이미 사용되고 있으며 로직 및 메모리 칩 양쪽에서 PPACt를 개선하고 있습니다.
AIx 플랫폼은 다음을 포함합니다:
- ChamberAI®: 어플라이드 머티어리얼즈의 공정 챔버에 대해 실시간으로 변수를 분석하는 새로운 센서 및 기계 학습 알고리즘
- 온보드 계측: 새로운 필름을 증착하면서 옹스트롬 수준의 정확도로 계측할 수 있는 고유한 진공 계측
- 인라인 계측: 어플라이드의 전자빔 계측을 기반으로 50퍼센트 더 높은 분해능과 100배 더 빠른 측정 속도를 제공할 수 있는 고유한 알고리즘
- AppliedPRO®: 재료 및 레시피 개발을 가속화하는 디지털 공정 맵을 생성하고, 변동성을 줄이며, 공정 범위를 확대할 수 있는 공정 레시피 최적화
- 디지털 트윈: EcoTwin 효율성 소프트웨어를 통해 반도체 제조 장비의 온디맨드 에너지 및 화학 물질 소비뿐만 아니라 가상 실험을 구현하는 선택된 어플라이드 머티어리얼즈 챔버 및 시스템의 디지털 트윈 모델로, AIx 플랫폼에 포함됨
- 컴퓨팅: 기계 학습 및 AI 알고리즘을 사용하여 방대한 데이터를 저장 및 분석하는 데 필요한 컴퓨팅 리소스로, AIx 플랫폼에 포함됨
