半導體 (Semiconductor)
半導體晶片製造需要連續進行數百到數千個製程步驟。 為達成理想成果,每個製程步驟都需要一個特定製程配方,這是由數百個設備參數建立而得,這些參數在製程配方建立期間內可能會有所變化。 工程師現在可以從數以千計的製程變數中選擇,但只有少數難以掌握的相關性才是製程配方最佳化的關鍵所在。
AIx™代表 Actionable Insight Accelerator,使工程師能夠即時了解半導體工藝,在晶圓和單個晶片上進行數百萬次測量,並優化數千個工藝變量,以提高半導體性能、功耗、面積、成本和上市時間 ( PPACt ™ )。 AI x平台適用於所有應用材料公司製程設備、eBeam ™計量系統和偵測系統,可從實驗室擴展到晶圓廠。透過為工程師提供在研發過程中識別創新配方的能力,AI x加速了其轉移並進入大批量製造 (HVM)。 AI x目前已投入使用,改善了邏輯晶片和記憶體晶片的 PPACt。
ChamberAI®技術:適用於應用材料公司製程室的新型感測器和機器學習演算法,可即時分析變量
機上量測:獨一無二的真空量測技術,使新膜層在沉積過程中的測量精密度可達埃米等級
內嵌式量測技術:以應材電子束量測為主的獨特算法,可增加 100 倍的測量速度,以及 50% 的更高解析度
AppliedPRO ®軟體:製程配方優化器產生數位製程圖,可加速材料和配方開發、減少可變性並拓寬製程窗口
數位孿生:AIx 平台包括精選應用材料公司腔室和系統的數位孿生模型,可透過我們的 EcoTwin 效率軟體 實現虛擬實驗以及半導體製造設備的按需能源和化學品消耗
運算:AIx平台包括使用機器學習和人工智慧演算法儲存和分析海量資料所需的運算資源