Producer^® Celera^™ PECVD

本装置は、最大1.7GPaの引張応力を実現すると同時に、低サーマルバジェットの要件も満たす、統合された引張応力窒化膜の成膜とUV硬化を提供します。 また、同じチャンバで、最大3.5GPaの圧縮応力を持つ膜を成膜できます。 このプロセスでは、生産で実証されたシランCVD技術を使用して、卓越した被覆率（～70%）の成膜を実現すると同時に、優れたSiN（シリコン窒化）膜のエッチストップ特性とパターンローディング効果を維持します。

Applied Celeraの成膜とUV硬化プロセスは、製造現場で実証された高スループットのProducerプラットフォームに統合されています。また、柔軟性に優れたTwin Chamber®構成と、お客様がProducerツールセットを複数のプロセスノードで利用することを可能にするプラットフォーム拡張性も有しています。