Producer^® Celera^™ PECVD

어플라이드 Producer Celera PECVD 시스템은 45nm 이하의 신축 변형 가공 응용 분야를 위해 조절이 가능한 압축과 인장 고응력 실리콘 질화물 필름을 증착합니다.

이 시스템은 최대 1.7GPa의 인장 응력을 제공하는 응력 질화물 증착과 낮은 열처리량 요건을 충족하는 UV 경화의 통합 공정을 제공합니다. 동일한 챔버에서 최대 3.5GPa의 압축 응력으로 필름을 증착시킬 수 있습니다. 이 공정은 검증된 실란 CVD 기술을 사용해 우수한 스텝 커버리지(약 70%)를 구현하고 뛰어난 SiN 식각 정지 특성과 패턴 로딩 결과를 유지합니다.

어플라이드 Celera 증착 및 UV 경화 공정은 검증된 고 생산능력 Producer 플랫폼에 통합됩니다. 이 플랫폼은 유연한 Twin Chamber^® 구조로 되어 있고 확장성이 있어 고객이 여러 가지 나노급 공정에서 Producer 도구 세트를 사용할 수 있습니다.