Aeris^®-Gプラズマ除去装置

地球温暖化への意識が高まり、この影響の低減を推進する規制が注目を集めています。アプライド マテリアルズはこの課題を認識し、地球温暖化係数(GWP)の高い過フッ化化合物、NF₃やSF₆といった、ガス状の化学物質の使用を低減する費用対効果の高い方法を積極的に模索し続けています。

Applied Aeris-Gシステムはプリポンプによるプラズマ除去ソリューションで、ポストポンプの除去ユニットよりも、実際のプロセスガスを少量かつ濃縮して使用することで、消費電力を低減します。除去処理中のAeris-Gチャンバ内で、プラズマ分離と少量の窒素を組み合わせることにより、NOxの排出をゼロに近づけることができます。「オンデマンド」で稼働するAeris-Gユニットでは、常に稼働している消費電力の高いポストポンプ除去装置よりも、大幅に運用コストが削減されます。

Aeris-G装置は、各チャンバの占有面積内で設置することができます。既存ツールへの設置に最適な同装置は、現行の排気ラインに簡単に適合し、必要なのは電力と超純水への接続だけです。新しいツールへの設置では、Aeris-Gはユーティリティと排気接続を削減することでサブファブスペースを節約し、除去効率を改善しつつ設置コストを最小限に抑えます。