Aeris^®-G 플라즈마 저감 시스템

지구 온난화에 대한 인식이 점차 높아지고 있고 온난화 저감을 위한 규제 압력이 최고조에 달해 있습니다. 이에 따라 어플라이드 머티어리얼즈는 과불화 화합물(PFC), SF_​​6​​, NF​​_3​​ 등의 가스 화학 물질의 사용으로 인한 지구 온난화 지수(GWP) 상승 가능성을 낮추기 위한 선행적이고 비용 효과적인 방법을 지속적으로 찾고 있습니다.

어플라이드 Aeris-G 시스템은 프리 펌프 플라즈마 방식의 저감 솔루션으로 실제 공정 가스량을 처리해서 더 적은 에너지를 소비하기 때문에 포스트 펌프 방식의 저감 장치에서 처리되는 것보다 더 낮고 더 농축된 가스량을 사용합니다. 저감 과정 중에 Aeris-G 챔버의 낮은 질소량과 플라즈마 해리가 복합적으로 작용해서 NOx 배출물을 거의 제로 수준으로 최소화합니다. Aeris-G 장치는 "온 디맨드" 방식으로 작동하기 때문에 에너지를 많이 소비하고 연속적으로 작동하는 포스트 펌프 방식의 저감 장치에 비해 운용비가 적습니다.

Aeris-G 시스템은 각 챔버의 펌프 공간 내에 설치할 수 있습니다. 기존 장비 설치 공간에 적합한 이 장치는 기존의 배기관에 잘 맞고 전원과 고순도 공정수만 연결하면 됩니다. 신규 설치 공간에 설치하는 경우에는 Aeris-G 장치로 설치 공간을 절약하고 유틸리티와 배기관 연결부를 줄이고 설치비를 최소화하고 효율을 높일 수 있습니다.