Aeris^®-G 電漿式廢氣處理系統

人們對全球變暖的重視日益增強，監管部門正全力以赴推動有效措施來減排溫室效應。注意到這一點，應用材料公司持續尋找積極的、符合成本效益的方法來降低氣態化學品排放所引起的全球增溫高潛勢值 (GWP)，其中包括全氟化碳化合物 (PFC)、NF_​​3​​ 以及 SF_​​6​​。

應用材料公司的 Aeris-G 系統是採用泵前電漿式廢氣處理解決方案，相比泵後廢氣處理裝置，此方案所處理的實際製程氣體量更少且濃度更高，因此使用的能量更少。在廢氣處理過程中，由於 Aeris-G 反應室中較低的氮容量，加上電漿分解，最多可將氮氧化物 (NOx) 排放降至接近零的水平。Aeris-G 裝置「視需求」運轉，相比耗能高、連續運轉的泵後廢氣處理裝置，可進一步降低運轉成本。

Aeris-G 系統可安裝到每個反應室的泵所在位置內。該系統非常適合安裝在現有的機台上，可以輕鬆接入現有的排氣管道，並且僅需要連接電源和超純水管路即可運轉。如果是在新機台上安裝，Aeris-G 不僅可以提高廢氣處理效率，還可以節省下夾層的空間、減少廠務系統和排氣管路連接，同時最大限度降低安裝成本。