Aeris^™-G 等离子减降系统

全球暖化问题日益受到重视，监管机构也在全力推进有效措施以减轻温室效应。有鉴于此，应用材料公司不断探寻积极、经济高效的前瞻性方法和途径，以降低其所使用的包含全氟碳化合物 (PFC)、NF₃ 和 SF₆ 等气体化学品的高全球暖化潜能值（Global-Warming Potential, GWP）。

应用材料公司的 Aeris™-G 系统是前级泵等离子减降解决方案，相比后级泵减降装置，该解决方案所处理的实际工艺气体量更少且更集中，因此使用的能量更少。在减降过程中，由于 Aeris-G 腔室中较低的氮容量，加上等离子分解，最多可将氮氧化物排放降至接近零的水平。Aeris-G 装置“按需”运转，相比耗能高、连续运转的后级泵减降装置，可进一步降低运转成本。

Aeris-G 系统可安装到每个腔室的泵所在位置内。该系统非常适合安装在现有的设备上，可以轻松接入现有的排气管道，并且仅需要连接电源和超纯水管路即可运转。如果是在新设备上安装，Aeris-G 不仅可以提高减降效率，还可以节省晶圆制造厂的空间、减少水、电、气和排气管路连接，同时最大限度降低安装成本。