Raider^® ECD

Raider ECD 装置は、150mm-300mm向けの枚葉式、自動、マルチチャンバ、電気化学成長システムで、小さな占有面積で高いスループットを提供します。

300mmウェーハの電気めっきは、電流密度をダイナミックに変化させることで比類のない均一性を実現する、強化チャンバリアクターを採用しています。マルチゾーンアノードアレイは、極薄で抵抗力の高いシード層への電気めっきを可能にします。同装置は、薬液の寿命を延長するためにイオン膜を使用し、オートメーションにおける再ティーチによるダウンタイムをなくすため、”ノーティーチ”精度オートメーションを採用することで、コストを削減します。