Vantage^® Radiance^® Plus RTP

Applied Vantage RadiancePlus RTPシステムは、業界をリードする生産性の高いソリューションです。ワールドクラスのRTPチャンバテクノロジーと、製造現場で実証済みの低CoO (Cost of Ownership) のプラットフォームを組み合わせ、量産向けの大気圧RTPアプリケーションに対応します。コンパクトな設計により、1つの統合ユニットとして出荷されるため、立ち上げ期間や生産開始までの時間が短縮できます。

このシステムは、実績のあるRadianceチャンバ技術を活用しています。つまり、ハニカムランプヘッド、7ポイントでの温度測定、100 Hzクローズドループ制御、240 rpmウェーハ回転機構といったものです。その最適化されたハードウェアと温度制御により、インプラントやその他のアニール処理において、卓越したスパイク・アニールの均一性をもたらします。温度の幅が非常に広く、シリサイド・アニールなどの低温からウェーハ・アニールといった超高温まで対応します。