Centura^® Ultima HDP CVD^®

Centura Ultima HDP CVD 200mm/300mmは、高密度プラズマCVDプロセスを提供します。高品質の絶縁膜やボイドフリーギャップフィル膜を提供する、業界をリードする主力製品です。同装置のリアクターは、複数世代にまたがる製造における生産性、コスト効率、拡張性を実現します。

Ultima HDPは、デュアルRFコイルを搭載し、ウェーハ面内に優れたギャップフィルを実現します。革新的な静電チャックが優れた膜質と均一性を実現し、遠隔プラズマ洗浄と組み合わせることで、欠陥の低減と洗浄周期間の平均ウェーハ処理枚数（MWBC）を増加させます。

本製品の先進技術は、STI、プリメタル絶縁膜、ILD、IMD、パッシベーションなどの幅広いアプリケーションにおいて、ドープ膜・アンドープ膜いずれの成膜も可能にします。その汎用性は、エッチバックや高密度プラズマ処理による膜質の向上にも及びます。