Aeris^™-Si

Aeris-Si 是一套用于晶圆厂次洁净室前级管道清洁的综合解决方案，可管理二氧化硅负载并延长泵的使用寿命。该解决方案支持高流量正硅酸四乙酯 (TEOS) 工艺，实现最高沉积速率和产能，同时泵的使用寿命从 1 个月延长至 12 个月甚至更久，从而一年不到即可收回投资。该系统在清理时等离子体是在前级管道中，所有工艺参数均工作于正常范围内，从而不会对晶圆鉴定数据产生影响。

Aeris-Si 工艺在泵输入口前收集二氧化硅粉末。通过运用三氟化氮等离子技术，该系统将固态二氧化硅颗粒转化为对泵有利的四氟化硅气体，从而防止固态废物积聚在泵内。