FinFET 是鳍式场效应晶体管的缩写,是一种先进的晶体管架构,用于半导体器件,尤其是微处理器、图形处理器(GPU)和系统级芯片(SoC)等集成电路(IC)中。
在 FET 中,漏极到源极的电流流经连接源极区和漏极区的导电沟道。沟道的垂直鳍状结构使这种设计被命名为 FinFET。与平面设计相比,FinFET 的栅极从三面环绕沟道,能更好地控制流经沟道的电流。这就减少了漏电流,从而提高了性能和功效。
FinFET 能够高效扩展,并使晶体管不断微型化。应用材料公司拥有广泛的产品组合,涵盖 沉积 、刻刻 、图案化 以及 量测和检测 ,在推动 FinFET 技术的开发和制造方面发挥着关键作用。