VIISta^® Trident

此系統系採用 VIISta 高電流離子植入平台經生產驗證的單晶圓架構，為能量純化、均勻度以及角度和劑量率控制建立全新標準，提供高產能和最高生產力，符合先進的節點需求。

Trident 平台結合雙磁鐵帶狀束流架構和創新的能量純化模組 (EPM)，提供受控制的精準植入輪廓。能量純化模組 (EPM) 亦可有效過濾光束線元素所產生的微粒，將晶圓與污染物有效隔離。VIISta Trident 平台是唯一可測量和修正束流角度的高電流系統，方法是採用獨特的閉迴路控制系統，提供高準確性和可重複性的入射角控制，達到真正零度角和精準的高傾斜角度植入。