ComPLUS 광학 검사

ICAPS(IoT, 통신, 자동차, 전력 및 센서) 및 완성도 높은 로직 시장은 지속적으로 성장하고 있으며, 기존에는 90nm 노드 이상을 사용하여 제조된 특수 디바이스를 필요로 합니다.  그러나 경쟁이 심화되면서 팹은 차별화 및 비용 효율을 위해, 공정을 혁신하고 90nm 이하의 노드를 도입해야 합니다.  90nm 이하보다 더 작은 노드에서 팹은 낮은 운영 비용(CoO)으로 많은 양을 처리하면서 더 작은 결함을 찾기 위해 검사 감도를 더 높게(그리고 더 느리게) 설정해야 하는 과제를 안고 있습니다.

ComPLUS™ 5P 광학 검사 시스템은 90nm 이하로 설계된 노드의 공정 제어에 최적화되어 있습니다. 더 높은 레이저 출력, 광전자 증폭관, 조절이 쉬운 조명, 편광 제어 및 새로운 검사 픽셀에 의해 민감도 증가가 가능해지며, 이러한 모든 중요한 기능은 신호 대 잡음 비율을 최대화하고 수율을 제한하는 결함의 포착을 가능하게 합니다. 또한 업그레이드된 이미지 프로세서와 스테이지 및 동시에 사용 가능한 다크필드(darkfield), 그레이필드(grayfield) 및 브라이트 필드(bright field) 감지 기술은 보다 완벽한 커버리지 제공을 위해, 여러 번의 검사 통과와 많은 비용이 수반되는 대체 솔루션에 비해, 운영비용(CoO)을 절감할 수 있습니다. ComPLUS 5P 시스템은 운영비용(CoO)를 크게 줄이고 검사 감도를 높여 ICAPS 및 완성도 높은 로직 시장의 새로운 공정 제어 요구 사항을 해결합니다.