Vera^® 광학 검사

보다 스마트하고 보다 서로 연결된 전자 제품을 향해 나아가면서 성숙한 프로세스 노드를 기반으로 구축된 더 많은 특수 반도체가 필요합니다. 이러한 애플리케이션에는 칩 제조 과정에서 수율을 극대화하기 위한 체계적인 결함 감지와 신뢰성을 높이기 위한 체계적인 결함 감지 기능이 필요합니다.

어플라이드의 ICAPS(IOT, 통신, 자동차, 전력 및 센서) 제품 포트폴리오중 하나인 Vera 브라이트 필드 패턴 웨이퍼 검사 시스템은 DUV(심자외선) 레이저 소스를 사용하여 비첨단 노드 칩 제조업체에 포괄적인 웨이퍼 검사 옵션을 제공합니다.. Vera 시스템을 사용하면 칩 제조업체는 낮은 소유 비용으로 높은 검사 감도로 잠재적인 신뢰성 결함을 포함한 광범위한 결함을 감지할 수 있습니다.

Enlight® 플랫폼의 고유한 아키텍처를 기반으로 하는 Vera 광학 시스템은 높은 NA 광학 및 이중 채널 감지(브라이트 필트 및 회색 필드 조명)는 물론 새로운 감지 알고리즘을 통해 고해상도와 동급 최고의 감도를 제공합니다. 향상된 생산성 기능, Vera 시스템은 또한 결함 신호를 강화하고 노이즈를 줄이기 위한 고급 3D 편광 제어 기능을 갖추고 있습니다. Vera는 어플라이드의 ExtractAI® 기술과 호환되어 어플라이드의 SEMVision® 결함 분석 도구에 대한 AI 기반 연결을 가능하게 합니다. ExtractAI는 고객이 인라인 모니터링 중에 완전히 분류된 노이즈 없는 검사를 신속하게 생성할 수 있도록 도와줍니다.

고유한 아키텍처, 감지 기능 및 생산성 기능을 결합한 Vera 시스템은 성숙한 프로세스 노드를 갖춘 제조공장이 잠재 결함 감지를 통해 제품 신뢰성을 향상하고 결함 제로를 향해 나아가는 데 도움이 될 뿐만 아니라 다음 애플리케이션에 대한 포괄적인 결함 정보를 제공합니다.

1.     모듈 검사(식각 및 CMP)의 중요 패터닝 종료

2.      제품 ADI (포토레지스트 개발 후)

3.      짧은 루프 ADI, PCM(휴대용 컨포멀 마스크) 및 기타 리소그래피 애플리케이션