Producer^® Pyra^® Anneal

CD가 계속 줄어들면서 작은 구조를 패터닝 하는 데 필요한 단계가 늘어나고 이에 따라 여러 개의 패터닝 레이어 처리가 필요하게 되었습니다. 다중 패터닝 방식의 식각 선택비를 개선하기 위해 표적 처리로 패터닝 필름을 수정합니다. 또한 금속 리플로우 기술이 고종횡비 형상을 실현하는 데 필수적인 요소가 되고 있습니다. 목표는 공극이 없고 더 큰 그레인의 금속으로 성장시켜 라인 저항을 줄일 수 있도록 금속층을 처리하는 것인데, 인터커넥트 치수를 줄이는 것이 특히 어렵습니다.

어플라이드 Producer Pyra 열 처리 시스템은 당사의 어닐링 제품군 중 가장 최신 제품입니다. 이 제품은 주로 MOL/BEOL 공간에 있는 애플리케이션의 저온부터 중온까지의 온도 범위를 대상으로 합니다. 고성능 Pyra 시스템은 생산성이 입증된 Producer 플랫폼을 낮은 운영 비용과 타협하지 않는 디바이스 성능으로 활용하여 대용량 소크 어닐링을 위해 특별히 설계된 시스템입니다.

소크 어닐링을 위한 Pyra 시스템의 가열 기능은 우수한 웨이퍼 내 및 웨이퍼 간 어닐링 균일성을 제공하는 저항 가열기에 의해 실현됩니다. 다중 Twin Chamber^® 기술을 탑재한 Producer 플랫폼은 R&D 모드의 사이클 타임 개선 및 대용량 제조 모드의 생산성 향상을 가능케 합니다.