AKT^™电子束检视

先进的显示面板技术所要的工艺步骤不断增加，从而产生更多更小的污染物以及新型缺陷。

目前用于显示面板缺陷检验的在线自动化光学缺陷检测工具，在区分致命与非致命缺陷或分析缺陷系统性根本原因方面，不及扫描电子显微镜(SEM)有效。在使用应用材料公司的电子束检视(EBR)设备之前，对显示面板进行SEM分析要打碎玻璃基板，然后在显微镜下单独检视每一块碎片。这种方法不仅昂贵耗时，而且几乎不可能将缺陷与最终的设备性能挂钩。应用材料公司解决了这些局限性，提供业界最高分辨率及测试速度的在线SEM检视，并且无需打碎面板。