VIISta^® 900XP

VIISta 900XP는 중전류 이온 주입 시장에서 정밀성, 청정성, 생산성, 생산 가치를 구현합니다. 또한 VIISta 900XP는 +와 ++ 전하 상태로 각각 300keV와 600keV에서 작동할 수 있게 해주는 확장된 에너지 범위 덕분에 MeV 미만의 응용 분야에서 종래의 배치형 고에너지 장비보다 생산성이 뛰어납니다.

첨단 소자의 양산에서 정확한 주입을 위해서는 재현성과 정확성이 우수한 주입 각도 제어가 매우 중요합니다. Varian Positioning System(VPS)은 모든 응용 분야에서 확실한 제어력을 보장합니다.

VIISta 900XP는 업계에서 가장 청결한 빔 라인을 특징으로 합니다. 필터 자석이 소스에서 대부분의 교차 물질을 제거합니다. 이중 자석 구조가 분석기 자석과 질량 분해 구경 영역에서 빔에 의해 생성된 금속, 입자, 기타 오염 물질과 웨이퍼를 분리합니다.

VIISta 900XP는 업계를 선도하는 500WPH급의 기계적 처리량을 제공합니다. 단일 웨이퍼 병렬 경로 웨이퍼 핸들링, 빠른 빔 설정 시간, 더 높은 빔 전류 옵션이 이 장비의 뛰어난 생산성을 더 높입니다.