AKT^™-PX PECVD

应用材料公司的AKT-PX系列PECVD设备，在面积从1.6到5.7平方米（5代线至8.5代线）的玻璃基板上，沉积高度均匀的低温多晶硅(LTPS)薄膜。LTPS技术是一种已经得到验证的方法，在主动矩阵有机发光二极管(AMOLED)和超高分辨率薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)中构造高性能晶体管阵列。

应用材料公司用于大面积玻璃尺寸的LTPS设备使制造商能够用每张基板生产出更多或更大的显示屏，有助于加速渗透到更大面板尺寸的移动设备和电视机。

AMOLED和先进的TFT-LCD显示面板的晶体管使用多晶硅，而非传统LCD显示面板使用的非晶硅。多晶硅更高的电子迁移率让控制每个像素的晶体管能够更小尺寸，且实现更迅速的转换，从而制造出更低功耗、更亮、更清晰的显示面板，这正是对图像质量和电池寿命有严格要求的移动设备所追求的性能。