薄膜封装 (TFE)

有效的封装对防止主动矩阵有机发光二极管(AMOLED)材料被湿气与颗粒降解很是关键。封装性能直接影响AMOLED 设备的寿命与光照性能。薄膜封装(TFE)让AMOLED设备更强、更轻更灵活。应用材料公司的AKT TFE设备的关键，在于能够通过提供多层解决方案延长可挠式OLED的寿命，其方法是结合具有极低水气及氧气渗透的扩散阻隔膜与缓冲层，释放堆叠薄膜应力并掩盖前道工艺中无法避免的微粒。这些以低于摄氏100度的低温沉积的高性能薄膜，针对解决了OLED材料对环境因素敏感易分解的问题。此外，该系统独特的视觉对位技术确保网格定位与沉积能够准确且精密，让面板制造商能够淘汰光刻与刻蚀工艺步骤，从而降低生产成本。