麻省理工學院 (MIT) 及應用材料公司宣布一項合作協議，連同東北微電子聯合 (NEMC) 中心對 MIT 的捐款，承諾提供 MIT 奈米科學工程中心 (MIT.nano) 預估超過 4,000 萬美元的公私資助，以強化其先進奈米製造設備和能力。這項協同合作將在美國建立一個獨特的開放使用場域，採用與晶圓廠相同的量產設備，支援工業等級規模的研發，以加速推進矽及化合物半導體、功率電子、光學運算、類比裝置及其他關鍵技術發展。

應用材料公司提供的設備、相關經費及實物支援將大幅提升 MIT.nano 製造200毫米 (8 吋) 晶圓的能力，這是工業原型設計和半導體生產的關鍵尺寸，市場應用廣泛，包括消費電子、汽車、工業自動化、潔淨能源等。這些設備可望縮減從學術實驗到商業化的落差，有助於橋接早期創新與產業市場路徑。

MIT 研究副校長暨 E.A. Griswold 地球物理學教授 Maria Zuber 表示：「一個絕佳的晶片新概念要能被製造出數百萬個晶片才能對世界帶來影響。MIT.nano 和應用材料公司的合作將創造一個關鍵的開放平台，讓創新成果能從實驗室移轉到晶圓廠進行量產。非常感謝應材對這項願景的投資，這些新的機台組合將為 MIT，至麻薩諸塞州該區域、甚至全美國帶來正面影響。」

應用材料公司是全球最大的半導體、顯示器及其他尖端電子產品製造設備供應商，該公司將在 MIT.nano 提供多種最先進的製程工具，可支援 150 毫米和 200 毫米晶圓，並升級 MIT 現有的工具設備。除了協助 MIT.nano 的設備日常操作及維護外，應材工程師也將開發新的製程能力，對 MIT 及其他地區的研究人員和學生皆有莫大助益。

應用材料公司副總裁暨 ICAPS 業務總經理 Aninda Moitra 表示：「隨著晶片日益複雜化，200毫米裝置迫切需要持續進步，尤其是碳化矽、氮化鎵等化合物半導體。我們很榮幸與 MIT.nano 合作，在美國建立一個獨特、開放的平台，協助晶片生態系統的合作以加速創新。與MIT的合作擴大了應材大學創新網絡，進而減少我們在新技術商業化的時間和成本，同時強化未來半導體產業的人才養成。」

麻州技術合作組織 (MassTech) 管理的東北微電子聯合 (NEMC) 中心將撥款 770 萬美元用於安裝相關機台。東北微電子聯合中心是一個區域樞紐，連結並擴大新英格蘭、紐澤西州及紐約地區不同機構的能力。美國國防部選擇東北微電子聯合中心成為全美八個微電子共享中心之一，並依據《晶片與科學法》給予補助，以加速推動關鍵微電子技術從實驗室到晶圓廠的應用、帶動就業、擴大人才培訓機會，並投資於當地的先進製造和技術部門。

微電子共享計畫在聯邦層級隸屬於美國國防部研究工程次長辦公室 (OUSD(R&E)) 及海軍水面作戰中心起重機部門，並由美國國家安全科技加速機構 (NSTXL) 負責協調全國八個區域共享中心的執行工作。美國國防部及國家安全科技加速機構負責人在實地與東北微電子聯合中心成員見面的活動中宣布政府對這項計畫的支持。

麻州技術合作機構 (MassTech) 副總監暨東北微電子聯合中心代理總監 Ben Linville-Engler 指出：「在 MIT.nano 安裝使用這些機台，對於東北微電子聯合中心的成員員、麻州和美國東北地區的經濟以及國家安全都將帶來直接的影響，這正是《晶片與科學法》的意義所在。這是東北微電子聯合中心落實微電子共享計畫宗旨的一項關鍵投資。」

MIT.nano 設施位於 MIT 校園中心，佔地 20 萬平方英尺 (約18,580平方公尺)，設有高潔淨 (class-100) 無塵室，能夠容納這些先進的機台。MIT.nano 採開放使用模式，機台組合和實驗室不僅供校園使用，其他學術機構、非營利組織、政府及從《財富》世界 500 強跨國企業到當地新創公司的研究人員都可利用此據點從事早期研發。MIT.nano 院長 Vladimir Bulović 表示，新設施預計將於 2025 年初投入使用。

同時兼任 MIT 電機工程與電腦科學系 (EECS)新興技術的Fariborz Maseeh 教授Bulović 指出：「有了東北微電子聯合中心提供的重要安裝經費，並與應用材料公司進行全面有效的規劃，MIT.nano 已準備好安裝機台組合，整合我們的擴展能力，將可為超過 1,100 名來自學界、新創公司和成熟企業的研究人員提供服務。我們積極增設這些強大的新功能，更期待後續帶動更多的創意、協同合作和創新。」

作為與 MIT.nano 合作計畫的一部分，應材將加入 MIT.nano 聯盟，這是由全球來自不同行業的 12 家企業共同組成的產業組織。在技術人員的貢獻下，應材將有機會與 MIT 各知識中心合作，包括繼續成為微系統技術實驗室 (MTL) 成員。

關於應用材料公司

應用材料公司（那斯達克代號: AMAT）是提供材料工程解決方案的領導者，我們的設備用來製造幾近世界上每顆新式晶片與先進顯示器。我們以工業規模在原子層級進行材料改質的專業，協助客戶將可能轉化成真。在應用材料公司，我們以創新驅動科技，成就未來。欲瞭解更多訊息，請至www.appliedmaterials.com。

關於麻省理工學院奈米研究中心 (MIT.nano)

MIT.nano 是麻省理工學院 (MIT) 奈米科學及奈米工程的先進設施，座落於校園中心，提供共享設備、專門環境及專業技術人員的支援，任何教職員、研究人員、學生或符合資格的合作夥伴皆可利用這些資源展開研究活動。

MIT 研究人員是主要的使用群體；來自其他學術機構的人員、業界合作夥伴、MIT.nano 聯盟企業成員及其他外部組織也可以使用 MIT.nano。藉由 MIT.nano 的資源共享，MIT 社群得以獲得個別實驗室或部門難以負擔或自行維護的先進設備。MIT 也將致力善用這個占地 20 萬平方英尺、空間寬敞的專用研究設施，促進奈米科學及奈米技術機台、儀器、製程、技術各方面的創新研發，超越現有技術成果。

詳細資訊請造訪 mitnano.mit.edu。

關於東北微電子聯盟 (NEMC) 中心

東北微電子聯盟 (NEMC) 中心旨在建立一個活躍且良好連接的生態系統，以因應美國國防部的需求，同時推動整個地區的參與，持續促進實驗室到晶圓廠的轉化，加強美國微電子人才培育養成。NEMC 中心由麻州技術協作機構 (MassTech) 指導，成員包括產、官、學界的 160 多個組織，涵蓋國防相關的各項微電子領域，擁有領先全球的技術專業知識、設備、資源和基礎設施。NEMC 中心致力落實美國國家微電子共享網的宗旨，創造就業、促進新創企業成熟、擴大人才培育，以及對地區先進製造和新興技術領域的投資。

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