Applied TopCoil™系统
基于感应加热坩埚的蒸镀系统
TopCoil平台让应用材料公司的感应加热坩埚技术蒸镀组合更加完善。这是一种针对要求低缺陷性能应用的解决方案，并且能够沉积多种材料。
- TopCoil系统利用感应加热坩埚，超越传统（食品）包装，适用于多种应用领域
- 真正实现无针孔，无需在镀膜速度上作出让步，且改善了膜层均匀度
- TopCoil系统能够沉积多种金属和金属氧化物，包括铝、锌、银、铜、铬、硫化锌、氧化物等等
- 创新的感应器设计使源头之间更加靠近且更少干扰
- 速度高达14米/秒的稳定制程
