作者：Brad Eaton 和 Amitabh Sabharwal

市场对领先和前沿技术节点半导体器件的强劲需求，促使全球厂商日益迫切需要尽可能提高设备故障排查、维修和升级速度，加快装机安装和产品验证以加速产能攀升。

最近，新冠疫情导致的全球差旅限制和供应链中断，使这些挑战变得更加棘手。这种情况凸显了晶圆厂管理者需要进一步重视业务连续性规划，确保合理的资源调配，即便发生最严重的意外事件，也能保证持续的生产运营。

应用材料公司全球服务事业部 (AGS) 始终致力于帮助客户保持设备以最佳性能水平正常运行。早在 2020 年全球爆发疫情之前，应用材料公司就在充分利用和扩展其服务解决方案组合，以满足客户对远程支持日益增长的需求。

例如，早在十多年前，应用材料公司就开始提供包括一些远程连接能力在内的综合服务协议。如今，一套不断发展更迭的数字化服务工具赋予构筑了应材在远程服务上的独到能力。这些工具使全球客户能快速轻松地利用应材的专家网络，从而缩短响应时间，让客户快速获取所需的专家维修、维护和验证服务。

应用材料公司持续重磅投入，开发这些有着更强大远程支持能力的数字化工具。因此，在新冠疫情限制差旅出行之时，应材抓住时机，顺利转换，加大远程支持力度。事实上，应材 2020 年提供的出差上门支持服务减少了约 80％，但综合服务协议涵盖的机台工具数量实际却在大幅增长。用数字化工具（例如，应材配备强大分析引擎的现场服务型服务器(FSS)）来满足逐步扩大的技术支持需求，这种情况前所未有地增加了 150％。

与专家深度协作

当前，应用材料公司远程服务的核心数字化工具包括：

• 远程设备访问：应用材料公司高度安全的远程连接软件使世界各地的应材服务人员都可以实时查看设备系统的图形用户界面 (GUI)。服务人员可执行基本的功能，就像在现场实地使用设备 GUI 一样。
• 现场服务型服务器（FSS）：应用材料公司的安全数据分析引擎安装在客户现场，使应材服务团队能够高效开展工作。一旦获得客户的许可，AGS 服务人员便可以访问此安全引擎，以收集高解析率清传感器数据，核查以往运行情况，了解机组总体状况，并查看设备运行状态指标。

应材的分析引擎能够加快诊断速度，从而缩短平均维修时间 (MTTR)，增强预防性和预测性维护以减少废品，提高产出/正常运行时间，缩短功能恢复时间，更快启动设备并完成腔室匹配，以加快产能爬坡。

• 远程视频辅助：应用材料公司采用最新的增强现实 (AR) 头盔，加上其他视频采集技术，远程指导现场的应材客户工程师，从而缩短解决问题的时间。这些技术使远程应材专家可以查看与现场客户工程师极其相同的视图。

远程视频辅助还有其他强大优势。其中一项优势是远程专家可以在视频源中添加注释及指向特定对象，而现场客户工程师可以看到专家指向的对象，就像他们在同一地点共事一样。还有一项优势是，远程专家可以上传技术图纸，供现场客户工程师在查看实际对象时参阅，使工程师能腾出双手来执行复杂的维护任务。在疫情期间，应材 1,000 多名现场客户工程师在 28 个站点部署了远程视频辅助工具。

我们的数字化工具已部署到所有区域，由经过专门培训的工程师在日常班次中使用这些工具来开展工作。如今，对于服务协议涵盖的大多数客户设备，都可以远程访问并提供支持。在新冠疫情期间，正如以下客户案例展示的那样，应用材料公司能够远程响应客户需求，充分体现了这套强大工具组合的价值。

ECD 设备的可靠性升级

在客户的一家工厂，生产工艺特性鉴定 (PPC) 中采用的是应用材料公司的 Mustang^™ 电化学沉积 (ECD) 设备，该设备的系统模块需要升级，以减少停机时间和晶圆废片。

这是一项不常见的复杂升级任务，但由于新冠疫情带来的差旅限制，应用材料公司无法快速部署专门的服务人员来执行这项工作。为此，应材公司利用远程视频辅助工具，使现场的应材客户工程师与美国或其他地区的应材专家连线，由专家指导客户工程师完成这项陌生而棘手的程序（图 1）。