어플라이드 베리셀​​^™ 태양광 웨이퍼 검사 시스템

어플라이드 베리셀 태양광 웨이퍼 검사 시스템은 결정질 실리콘 PV 웨이퍼 및 셀 생산을 위한 업계 최첨단 완전 자동화 베어(가공 전) 웨이퍼 검사 툴입니다. 어플라이드 베리셀 시스템의 여러 통합 검사 모듈은 각 웨이퍼를 자동으로 평가하여 결함이 있는 웨이퍼를 찾아내 생산에서 미리 제외시켜 제조 비용을 크게 절감할 수 있습니다. 웨이퍼 두께, 두께 변화, 뒤틀림, 저항률 등 다양하고 광범위한 변수들을 측정하고 보고합니다. 베리셀 시스템은 절단 자국, 손상된 가장자리, 각진 모서리 손상, 얼룩, 미세 구멍, 미세 균열 등의 결함도 감지합니다.

최첨단 광발광(PL) 기술을 사용하는 베리셀 시스템은 산소 원(Circle)을 감지하여 태양광 셀 생산 수율을 높일 수 있습니다. 산소 원(Circle) 웨이퍼를 미리 제거함으로써 베리셀을 이용하는 고객들은 생산공장의 평균 태양광 셀 효율 수율을 전반적으로 개선하고 생산공장 수익성을 높일 수 있습니다. 또한 베리셀 시스템은 시간당 최대 16,000개의 웨이퍼를 검사할 수 있는 업계에서 가장 낮은 파손률과 가장 높은 검사 처리량을 제공합니다.

베리셀은 태양광 웨이퍼 및 태양광 셀 산업에서 사용되는 전체, 절반 및 직사각형 웨이퍼 크기에 맞는 세 가지 유형의 장비를 제공합니다.

• 실리콘 웨이퍼 공장용 검사 장비
• 태양광 셀 공장의 IQC(Incoming Quality Control) 샘플링 검사
• 태양광 셀 공장에 대한 온라인 100% 검사

베리셀의 주요 기능:

• 웨이퍼 크기, 두께, 뒤틀림, 표면 에지 손상 , 측면 에지 손상, 각진모서리 에지 손상, 절단 자국, 저항률, 얼룩, TTV, 미세 균열, 미세구멍 및 캐리어 수명 감지
• 듀얼 레인 하프컷 웨이퍼(시간당 처리량 24,000 웨이퍼), 전체 웨이퍼(시간당 처리량 16,000 웨이퍼)에 사용 가능
• 초박형 웨이퍼 두께 ≥90μm
• AI와 딥러닝 통합을 통한 감지율 극대화
• 코인 스택, 카세트 로딩 및 언로딩 지원
• MES 시스템 연결 가능
• RFID 계층적 관리 연결 장비 시스템 지원 가능
• 모바일 앱을 통한 장비 상태 및 통계 데이터 실시간 모니터링
• 작은 설치 공간으로 속도와 처리량 극대화
• G12 웨이퍼를 검사할 수 있는 첫 번째 장비

베리셀 태양광 웨이퍼 검사 시스템은 SEMI^​​®양광 표준을 충족하는 높은 생산성과 고유한 고급 검사 기술을 결합하여 전체 양산 제조 라인을 최적화합니다.