Enflexor^™ TFEシステム

薄膜封止用プラズマCVD装置、Enflexor™ Gen 6H PECVDは、優れたバリアフィルムを成膜し、フレキシブル有機EL（OLED）パネル製造を可能にします。Enflexor Gen6Hは、生産性向上のために自動マスク交換機能を備えたマスク成膜技術を有しています。Enflexor Gen6Hは、様々なバッファフィルムを提供し、オールインワンのシステムプロセスを実現します。高い歩留まり性能により、量産への迅速な移行に貢献します。また、この装置は、他の有機EL装置と容易にインテグレーションすることが可能です。