アモルファス・シリコン

 

最も一般的な半導体層は、アモルファスシリコン(a-Si)で作られています。アモルファスシリコン薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ(TFT-LCD)が、アクティブマトリクス方式TFT-LCDの製造において、20年以上の間、主要テクノロジーとなっています。アモルファスシリコンは、供給が豊富な低コスト材料です。

アモルファスシリコンは、供給が豊富な低コスト材料です。しかし、アモルファスシリコンの電子移動度は非常に低く(約1cm2/vs)、HDTVに必要な240Hzのような高いリフレッシュレートを物理的にサポートすることはできません。現在主流となっている、液晶ディスプレイと有機EL(OLED)ディスプレイの2種類のスクリーンの製造には、その高い電子移動性により、酸化物半導体(MO)や低温ポリシリコン(LTPS)などの新素材がアモルファスシリコンに置き換わっています。

 

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