Applied TopBeam^® 2450/2850

特殊な透明バリア、高品質装飾用途向けの電子ビーム蒸着システム

アプライドの高出力電子ビーム蒸着によって、様々な金属や酸化物を蒸着できます。このプロセスは、すべての真空成膜プロセスで最高の成膜速度を実現します。膜厚の高い均一性には、横方向と縦方向の両方に、閉ループのインライン制御システムが必須です。ESCOSYS^™を高度なインライン測定システムと組み合わせて、この要件を実現しています。

• たとえば最大膜幅2,850mmのSiOxといった、様々な金属、積層、酸化物など、幅広い成膜材向けの独自の高出力電子ビーム・プロセス
• パッケージング用途など、最高品質の透明バリア層
• 特許取得済みESCOSYS インライン生産管理システム