アプライド Vericell™ ソーラーウェーハ検査システム

アプライド マテリアルズの Vericell ソーラーウェーハ検査システムは、結晶シリコン PV ウェーハおよびセル生産用の業界最先端全自動ベアウェーハ検査装置です。Vericell システムは複数の検査モジュールを統合しており、各ウェーハを自動的に評価して不良品を発見し、生産から排除することで、大幅な製造コスト削減を実現します。ウェーハの厚さ、厚さのばらつき、反り、抵抗率など、幅広いパラメーターを測定し、報告します。また、Vericell システムは、ノコギリ跡、エッジの欠け、面取りの損傷、シミ、ピンホール、マイクロクラックなどの欠陥も検出します。

最先端のフォトルミネッセンス（PL）技術を使用することにより、Vericell システムはリング状酸化誘起積層欠陥を検出し、セルラインの歩留まりを向上させることができます。リング状酸化誘起積層欠陥が検出されたウェーハを除去することにより、Vericell のお客様は、工場の平均セル効率歩留まりの全体的な改善を達成し、工場の収益性を向上させることができます。さらに、Vericell のシステムは、1 時間当たり最大 16,000 枚の検査スループットで、業界で最も低い破損率を実現します。

Vericell は、太陽電池業界で使用されるフルウェーハ、ハーフウェーハ、長方形ウェーハサイズに対応する3種類の装置を提供しています。

• シリコンウェーハ工場向け検査装置
• セル工場の IQC サンプリング検査
• セル工場のオンライン 100％ 検査

Vericell の主な特徴

• ウェーハサイズ、厚み、反り、表面エッジチップ、側面エッジチップ、面取りエッジチップ、ソーマーク、抵抗率、ステイン、TTV、μ クラック、ピンホール、キャリアライフタイムを検出。
• ハーフカットウェーハ（スループット 24,000 枚 / 時）、ホールウェーハ（スループット 16,000 枚 / 時）のデュアルレーンに対応。
• 超薄型ウェーハ厚 ≥90μm
• AI とディープラーニングを統合し、検出率を最大化
• コインスタック、カセットの出し入れに対応
• MES システムとの接続が可能
• RFID の階層管理に対応し、機器システムを接続可能
• モバイルアプリが機器の状態や統計データをリアルタイムで監視
• 小さなフットプリントで最高のスピードとスループットを実現
• G12 ウエハーを検査する最初のツール

Vericell ソーラーウェーハ検査システムは、高い生産性と SEMI® ソーラー規格に準拠した独自の高度な検査技術を組み合わせ、製造ライン全体を最適化します。