法を使って歩留まりエクスカーションを発生 前に予見することや、エクスカーションを早期に検出して直ちにウェーハ処理を止めて歩 留まり低下を防ぐことができるほか、原因を突き止め迅速に修正して量産再開を早めるこ とも可能になります。

新しい ExtractAIテクノロジー： アプライド マ テリアルズのデータサイエンティスト によって開発された ExtractAI テクノロジーは、ウェーハ検査における最も困難な問題を 解決します。ハイエンドの光学スキャナーによって生成される何百万ものニューサンス信 号やノイズの中から、歩留まりを低下させる欠陥を迅速かつ正確に区別する機能です。 ExtractAI は、光学検査システムによって生成されたビッグデータと、推論に基づいて特 定の歩留まり影響の欠陥を分類する電子ビームレビューシステムとの間をリアルタイムで リンクできる業界唯一のソリューションです。その情報を元に 、Enlight システムは歩留 まりキラーとノイズを区別してウェーハマップ上の全ての信号を解析します。ExtractAI テクノロジーは、きわめて効率性が高く、サンプルの 0.001Xをレビューするだけでウェ ーハマップ上のあらゆる欠陥候補を明らかにすることができます。その結果、欠陥分類を 伴う実用的なウェーハマップが得られ、半導体ノードの開発、立ち上げ、歩留まり改善の 促進につながります。AI 技術は適応性が高く、量産中にも素早く新しい欠陥を識別できる ほか、スキャンするウェーハ枚数が増えるほどパフォーマンスと効率が向上します。

電子ビームレビュー装置 SEMVision®：SEMVision は世界で最も先進的かつ広く採用さ れている電子ビームレビュー装置です。業界トップレベルの解像度を持つ SEMVision は、ExtractAI 技術を装備した Enlight に学習させて、歩留まりキラー欠陥の分類ならび に欠陥とノイズの識別を覚えさせます。Enlight、ExtractAI、SEMVision の 3 つはリア ルタイムで協調稼動し、製造フロー内で新たな欠陥が見つかる度にこれを識別して、高い 歩留まりと利益性を確保します。すでに数多く設置されている SEMVision G7 は、新しい Enlight および ExtractAI 技術との互換性を備えています。

VLSIresearch の会長兼 CEO、Dan Hutcheson 氏は次のように述べています。「歩留まり を損なう欠陥を、素早く正確にノイズと識別することは、ファブエンジニアが 30 年以上 も前から取り組んできた難題です。アプライド マテリアルズの Enlight と ExtractAI 技 術によるアプローチは、この課題を解決するブレークスルーです。AI はシステムを長く使 うほど賢くなるので、稼働を続けるにつれて、半導体メーカーのウェーハ 1 枚当たり収益 はさらに伸びるでしょう」

アプライド マテリアルズのグループバイスプレジデント 兼 イメージング＆プロセス コ ントロール グループのジェネラルマネージャー、キース・ウェルズ（Keith Wells）は次 のように語っています。「プロセスコントロールに関するアプライド マテリアルズの新し いプレイブックは、ビッグデータと AI を組み合わせてお客様の歩留まり最大化達成まで の期間を短縮する、インテリジェントで適応性のあるソリューションです。クラス最高を 誇る当社の光学検査技術と電子ビームレビュー技術を組み合わせることで、単に重大欠陥 を検出・分類するのみならず、リアルタイムで学習しプロセス変更にも対応できるインテ リジェンスを備えた、業界唯一のソリューションが生まれました。このユニークな能力に より、半導体メーカーは新しいプロセスノードをより短期間で立ち上げられるほか、歩留 まりに影響する欠陥の捕捉率をプロセス寿命の最後まで高く保てるでしょう」

新しい Enlight と ExtractAI 技術は、アプライド マテリアルズ史上最も立ち上がりの早 い検査装置で、すでに世界中の最先端ファウンドリやロジックメーカーの量産ラインで稼 働しています。SEMVision は電子ビームレビュー装置として 20 年以上にわたって業界を リードし、全世界で 1,500 台以上がお客様のファブに導入されています。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、マテリアルズ エンジニアリングのソリ ューションを提供するリーダーとして、世界中のほぼ全ての半導体チップや先進ディスプ レイの製造に寄与します。原子レベルのマテリアル制御を産業規模で実現する専門知識に より、お客様が可能性を現実に変えるのを支援します。アプライド マテリアルズはイノ ベーションを通じて未来をひらく技術を可能にします。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは 3 月 16 日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：中尾 均）は 1979 年 10 月に設立。大阪支店、川崎オフィスのほか 17 のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体 制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社 広報担当 (Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com/ja

March 17, 2021