アプライド マテリアルズ AIx プラットフォームを発表ビッグデータと AI を活用して半導体技術のブレークスルーを研究開発から製造まで迅速に展開

報道資料
2021 年４月 7 日
(日本時間)

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフ ォルニア州サンタクララ、社長兼 CEO ゲイリー・E・ディッカーソン）は 4 月 5 日（現 地時間）、新しいチップテクノロジーの発見、開発、商用化を加速するイノベーティブな プラットフォーム、AI x ™を発表しました。

AI xはアクショナブル インサイト アクセラレータ（Actionable Insight Accelerator）の 略で、半導体プロセスのリアルタイム観察、ウェーハ面全体や個々のチップ上の数百万カ 所の測定、数千ものプロセス変数の最適化を行うことを可能にし、半導体の PPACt（性 能、消費電力、面積あたりコスト、市場投入までの期間）を改善します。AI xプラットフ ォームはアプライド マテリアルズのすべてのプロセス装置および電子ビーム計測検査装 置と併用することができ、研究開発から製造まで利用を広げることも可能です。AI x を使 うことで、技術者は R&D 段階にイノベーティブなレシピを特定し、生産移行と量産立ち 上げを迅速化することができます。AI x はすでに利用が始まっており、ロジックとメモリ チップの PPACt 改善に貢献しています。

アプライド マテリアルズのシニアバイスプレジデント兼セミコンダクタ プロダクトグル ープ ジェネラルマネージャー、プラブー・ラジャ（Prabu Raja）は次のように述べてい ます。「PPACt の『t』（市場投入までの期間）を加速することは、業界エコシステムの全 企業にとって最大の価値を生み出す鍵です。AI x はアプライド マテリアルズのあらゆるソ リューションを新しい形でつなぐことで、開発期間の半減とプロセスウィンドウの 3 割以 上の改善を目指すものです。これまで 3 年をかけて開発した AI x は、技術者にまったく新 しいツールキットを提供し、ますます複雑化する半導体製造の課題解決を支援します」

アプライド マテリアルズのセミコンダクタ プロダクトグループでグループバイスプレジ デントを務めるラマン・アチュタラマン（Raman Achutharaman）は次のように話して います。「AI xはビッグデータと AI の能力を利用して、R&D から立ち上げ、量産に至る半 導体技術ライフサイクルのあらゆるステージでお客様により優れた成果をもたらします。技術者には何千というプロセス変数の選択肢があり、その中に潜む数少ない重要な相関関 係だけがレシピ最適化の鍵となり、世界最高レベルの結果が生まれます。AI xはそうした 実行性のあるデータを識別・明示して、PPACt の加速に必要な実行性のある洞察を技術者 にもたらします」

VLSIresearch のダン・ハッチソン（Dan Hutcheson）CEO 兼会長は次のように語ってい ます。「AI x プラットフォームという形でビッグデータ解析をプロセスエンジニアリングの エコシステムに投入することで、アプライド マテリアルズはまたも半導体業界に真の価 値を付加しています。AI xは数十年来用いられてきた線形データストリームに基づく統計 的プロセス制御メソッドを超えて、新しい多次元の世界へと進み、3D 画像や in-situ 計測 およびセンサからのデータを蓄積して、実行性のある情報を抽出します。アプライド マ テリアルズの AI xは、R&D を加速する新しいツールキットとして、成果がでるまでの期間 と最終的な利益創出までの期間を短縮することでしょう。AI xのアルゴリズムは生産工程 に移植されて、リアルタイムのチャンバ制御によるプロセス管理を実現すると予想してい ます」

AI xプラットフォームに含まれるものは以下の通り：

• ChamberAI™：アプライド マテリアルズのプロセスチャンバに向けた新しいセンサ と機械学習アルゴリズムは、プロセスガス、エネルギー、圧力、温度、期間などの変 数をリアルタイムで分析することができます。
• オンボード計測：独自の真空内計測により、新しい薄膜のオングストローム精度での 計測が成膜中に行えます。
• インライン計測：アプライド マテリアルズの電子ビーム計測技術に基づく独自のア ルゴリズムにより、計測スピードは従来手法の 100 倍、解像度は 50％増を実現しま す。1 時間に 100 万以上の 3D ウェーハ計測値が得られ、ごく軽微なレシピ変更がオ ンチップのデバイスや構造にもたらす変化をナノメートル単位で評価することができ ます。
• AppliedPRO™：PRO は Process Recipe Optimizer の略です。AppliedPRO はデジタ ルプロセスマップを生成し、マテリアルとレシピの開発を加速するとともに、ばらつ きを低減し、プロセスウィンドウを広げます。個々のチャンバやツールの最適化、装 置群全体のマッチングの加速にも利用できます。
• デジタルツイン：AI xプラットフォームには、選りすぐったアプライド マテリアルズ 製チャンバおよび装置のデジタルツインモデルが含まれています。これを用いたバー チャル実験により、レシピ開発の加速、マッチングと立ち上げ移行の改善、量産アウ トプットと歩留まりの最適化が可能となります。
• コンピューティング：AI xプラットフォームには、機械学習と AI アルゴリズムを用い て大量のデータを保存・分析するためのコンピューティングリソースが含まれます。

アプライド マテリアルズは 4 月 6 日の 2021 インベスターミーティング、ならびに 5 月 5 日と 6 月 16 日に開催するマスタークラスイベントにおいて、AI x のケーススタディを紹 介する予定です。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、マテリアルズ エンジニアリングのソリュー ションを提供するリーダーとして、世界中のほぼ全ての半導体チップや先進ディスプレイ の製造に寄与 します。原子 レベルのマテリアル制御 を産業規模で実現する専門知識に より、お客様が可能性 を現実に変えるのを支援 します。アプライド マテリアルズはイノベ ーションを通 じて未来 をひらく技術 を可能にします。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは 4 月 5 日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライ ド マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：中尾 均）は 1979 年 10 月に設立。大阪支店、川崎オフィスのほか 16 のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポー ト体制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社 広報担当 (Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com/ja

April 07, 2021